半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)紅外測(cè)溫儀IGAR 6-TV Smart寬溫度范圍和多種操作模式：
單色模式: 100 ... 2550 °C
雙色模式: 250 ... 2550 °C
智能模式: 根據(jù)溫度自動(dòng)在單色和雙色模式調(diào)節(jié)

IGAR 6 Smart紅外高溫計(jì)是一種數(shù)字，緊湊和快速的高溫計(jì)，根據(jù)不同的要求，可以在不同的模式下工作。 除了單色模式（100 ... 2550°C），還可以選擇雙色模式（250 ... 2550°C）或特殊的智能模式。在智能模式下，在100 ... 2550°C范圍內(nèi)的測(cè)量將采用單色模式，而在250 ...2000°C的范圍內(nèi)，測(cè)量將采用雙色方法（比例法）。 在此模式下，用戶可以設(shè)置溫度。此時(shí)儀器從 單色模式轉(zhuǎn)換到 雙色模式（低轉(zhuǎn)變溫度：250°C，最小轉(zhuǎn)變范圍：30°C）。在雙色模式（比例法）中，兩個(gè)相鄰的波長(zhǎng)用于溫度確定。 與標(biāo)準(zhǔn)單色高溫計(jì)相比，該技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：溫度測(cè)量在很大程度上獨(dú)立于對(duì)象的發(fā)射率并且在大范圍內(nèi)不受視場(chǎng)中的灰塵和其它污染物的影響。 測(cè)量對(duì)象可以小于光斑尺寸。

可解決的問(wèn)題

• 被測(cè)物可能被離子云包裹

• 多次加熱工況中，對(duì)測(cè)溫儀重復(fù)性與穩(wěn)定性要求高

• 襯底材料會(huì)發(fā)生變化，要求測(cè)溫儀有不同的應(yīng)對(duì)方案

• 須透過(guò)視窗測(cè)量，最好推薦使用紅外視窗材料

場(chǎng)景特點(diǎn)

• 需維持在高溫狀態(tài)（LPCVD 500~800℃，MOCVD 500~1200℃）

• 生產(chǎn)過(guò)程中隨著反應(yīng)狀態(tài)的變化，溫度也需進(jìn)行調(diào)整，故而對(duì)測(cè)溫儀的響應(yīng)速度要求較高

技術(shù)參數(shù)

測(cè)溫范圍:

單色: 100 to 2550 °C

雙色: 250 to 2550 °C

子范圍:任何溫度范圍內(nèi)可調(diào)范圍，最小量程50°C

波段:Channel 1: 1.5 ... 1.6 μm；Channel 2: 2.0 ... 2.5 μm

發(fā)射率：0.050 到 1.000 ，0.001調(diào)節(jié)(單色模式)

分辨率:

在串口處：0.1°C;模擬輸出：<所選子范圍的0.0015％，最小。 0.1℃，16位; 1°C或1°F

鏡頭:可從后蓋手動(dòng)對(duì)焦測(cè)量距離a = 210 至5000 mm

環(huán)境溫度:0 to 65°C 外殼

存儲(chǔ)溫度： -20 to +80°C

連接：12針連接器

防護(hù)等級(jí):IP65 (IEC 60529)

環(huán)境溫度: 0 to 65°C 外殼

存放溫度:-20 to 80°C

模擬輸出:可調(diào)0至20 mA或4至20 mA，線性（通過(guò)數(shù)字接口）