半導體測溫解決方案——Advanced Energy 的4100T光纖溫度計

——這款4100T多通道、非接觸式光纖溫度計的測量度數更準確，而且讀取率也較快，讓OR4000T可以輕易換代更新；可確保先進半導體工藝的溫度更準確以及更容易控制工藝流程

Advanced Energy一直致力于開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案，這方面的技術更一直全球。該公司宣布推出一款名為Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計采用即插即用的設計，只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直優秀市場的OR4000T，而且4100T的溫度測量準確度特別高，溫度范圍也較寬廣，加上內置的多條通道可同時進行讀取，讓讀取速度得以提升，因此極適用于先進半導體和相關的薄膜應用。

Advanced Energy 關鍵檢測技術及控制系統市場營銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示：Advanced Energy 的高溫計性能優異，一直獲多家頂尖的半導體OEM大廠采用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先的Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善，新功能也很多，讓我們的客戶可將工藝控制能力和生產力提升至高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品，讓我們現有的客戶可以輕易為系統換代更新。此外，這款高溫計也可支持EtherCAT、串行和USB通信接口。

由于使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度，因此執行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少，這樣有助于縮小方案大小，也可節省系統成本。此外，每一通道的讀取速度可以高達1kHz，因此熱反應會更快，讓溫度可以更易受控，并確保先進應用的溫度更加一致，相關的應用包括快速熱處理、激光退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發射可配置波長，因此其準確度、可重復性和可靠性都特別高，而且讀取速度也較快，適用于要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統的熱電偶和其他接觸式的傳感器測量方法有時并不十分適用，例如直接接觸會令晶圓受損，也會產生污垢或因為受到熱轉移效應的影響以致出現測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現場測量溫度，準確度在 ±1.5°C 之內。此外，4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產生的問題，而且對于某些應用來說，例如，正在移動中的晶圓或正以高溫或較高變溫速率 (ramp rate) 研磨處理中的晶圓，4100T是個理想的解決方案。